点击图片查看原图可靠的技术和行业标准接口使红y智能系列热质量流量计 (MFM) 和质量流量控制器 (MFC) 特别适用于气体输送系统和工厂工程应用中的测量和控制。
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技术规格 red-y 智能系列
测量范围
空气/全量度可自由选择 体型 1/4" 从 0 ...25 毫升/分钟到 0 ...60 ln/min (从 0 ...27 SCCM 到 0 ...64 SLPM)
体型 1/2" 从 0 ...60 ln/min 到 0 ...450 ln/min (从 0 ...65 SLPM 到 0 ...480 SLPM)
仪器版本
"标准"
经济解决方案 精度：±满量表的1.0%*
折屏比：1 ：50
"高性能"具有
最高的精度和对空比
(适用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) /
GSC < 150 ln/min (150 SLPM) (空气) 精度：±满量表的0.3% = ±读数* 的 0.5%*
折屏比：1 ： 100
*模拟信号可能应用的附加误差 ±0.25%
性能数据
介质(实际气体校准) 空气*，O2*，N2，He，Ar，CO2，H2，CH4，C3H8(其他气体和气体混合物应要求)*O2
和N2用空气校准
响应时间 仪表 (GSM)： ± 80ms*;控制器 (GSC)：± 500ms*
*取决于设备配置，根据 SEMI 标准 E17-1011，
在优化条件下的 5-100% 范围
重复 ±满量表的 0.2%(根据 SEMI 标准 E56-0309)
长期稳定 < 测量值/年数的 1%
电源 24 Vdc (18 + 30 Vdc)，15 Vdc 应要求提供
当前消耗标准 仪表 (GSM)： 最大 100 mA;控制器 (GSC)：最大 250
mA(阀型 8 的 GSC 最大 490mA)
当前消费 Profinet Rt / EtherCAT 仪表 (GSM)： 最大 125 mA;控制器 (GSC)：最大 340
mA(阀类型为 8 的 GSC 最大 560mA)
工作压力 0.2 × 11 bar a (3 × 160 psia) / GSC，阀型 4.5 和 8 最大 8 bar a (120 psia)
温度(环境/气体) 0 ~ 50°C (32 × 122°F)
车身材料 阳极氧化铝，可选不锈钢电抛光
密封 Fkm， EPDM， 可选 FFKM
压力灵敏度 < 0.2% / 柱阅读(典型 N2)
温度灵敏度 每 1°C 0.025% FS 测量范围类型(每 1°C 的 0.012%<0.012%)
热身时间 < 1 秒，全精度
集成与安装
输出信号模拟 0-20 mA， 4-20 mA， 0-5 V， 1-5 V， 0-10 V， 2-10 V
输出信号数字 RS-485;莫德布斯R2U(奴隶);Labview - 2s 可用
选项： Profibus Dp - v0， Dp - v1 / Profinet Rt / Ethercat
过程连接 G1/4" (BSPP* 母)高达 60 ln/min (64 SLPM)
G1/2" (BSPP* 母) 高达 450 ln/min (480 SLPM)
*英国标准管道平行
入口部分 无需任何
电气连接 子 D 插头，9 极
安装方向 任何位置(咨询 5 柱以上或垂直安装制造商)
安全
测试压力 16 巴拉 (240 psia)
泄漏率 < 1 x 10-6 mbar l/s 他
入口保护类 IP50
Emc EN 61326-1
M-FLOWNS 1.0
M-FLOWNS 1.5
M-FLOWNS 2.0
M-FLOWNS 2.5
M-FLOWNS 3.0
M-FLOWNS 4.0
M-FLOWNS 6.5
GCM-A9EA-BN00
GCM-C3EA-BN00
GCM-B5SA-BN00
GSM-A3SA-BN00
GCM-D4EA-BN00